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一種具有氮氣回收功能的四氟化碳純化系統，包括氟氣源、反應裝置、水洗塔、堿洗塔、精餾塔和氮氣回收裝置；反應裝置包括第二除塵器；第二除塵器包括集塵管、第二排污管和第四進氣管；第四進氣管豎向設置，其底部位于集塵管內，其頂部貫穿于集塵管的頂部；第四...該專利屬于廣東華特氣體股份有限公司;江西華特電子化學品有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過廣東華特氣體股份有限公司;江西華特電子化學品有限公司授權不得商用。