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本發明提供一種基于量程拓展的諧振式應變結構、應變傳感器及制備方法，所述基于量程拓展的諧振式應變結構包括：雙端固支音叉及量程拓展梁；所述量程拓展梁位于所述雙端固支音叉的兩端，且與所述雙端固支音叉的兩端相連接。本發明中，量程拓展梁可以降低雙端固...
該專利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海微系統與信息技術研究所授權不得商用。

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