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本發明提供一種薄膜體聲波諧振器及其制造方法和電子裝置，涉及諧振器領域。包括：下部介電層，所述下部介電層至少包括一第一空腔結構；上部介電層，所述上部介電層至少包括一第二空腔結構；聲波諧振復合薄膜，設置于所述第一空腔結構和第二空腔結構之間，連續...該專利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司授權不得商用。