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本發明的一種溝槽柵金屬氧化物場效應晶體管，包括：正面、背面金屬電極，N型單晶襯底，N型外延層，第一P型摻雜區，在N型外延層和第一P型摻雜區的中央部分設有垂直溝槽，在溝槽中的柵極側壁與第一P型摻雜區之間為第一介質層，柵極底部與外延層之間為第二...
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