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本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜晶體管,包括形成在襯底基板上的有源層、柵電極、源電極和漏電極,其中,所述源電極和漏電極相互間隔設(shè)置,所述源電極與所述有源層之間以及所述漏電極與所述有源層之間分別設(shè)置有導(dǎo)電碳膜,所述源電極和所述漏電極通過(guò)所述導(dǎo)電碳膜分別電...該專(zhuān)利屬于深圳市華星光電技術(shù)有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)深圳市華星光電技術(shù)有限公司授權(quán)不得商用。