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本發(fā)明涉及一種多層薄膜集成無源器件及其制造方法，該無源器件包括襯底材料，位于襯底上方的薄膜集成無源器件層，以及位于薄膜集成無源器件層上方的信號輸入輸出層；薄膜集成無源器件層包括電容、電阻和電感，其中電感包括兩個(gè)以上的信號耦合電感，層與層之間...該專利屬于中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所授權(quán)不得商用。