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    下載具有激光熔絲的集成電路及其形成方法的技術資料

    文檔序號:15692919

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    本發(fā)明提供了一種具有激光熔絲的集成電路及其形成方法,其結構包括:襯底;形成于所述襯底上的層間介質層;位于所述層間介質層上的緩沖層;以及,形成于所述緩沖層上的激光熔絲。即,由于所述激光熔絲和層間介質層之間設置有一緩沖層,從而在執(zhí)行激光修調工藝...
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