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本發(fā)明公開了一種脈沖射頻等離子體的阻抗匹配方法和裝置。該方法和裝置中，等離子體阻抗匹配過程不局限于一個脈沖周期內(nèi)，不論是高射頻功率階段等離子體阻抗匹配過程還是低射頻功率階段的等離子體阻抗匹配過程均可以在不同脈沖周期內(nèi)進(jìn)行，因此，本發(fā)明提供的...該專利屬于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司授權(quán)不得商用。