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    下載承載裝置及離子注入設備的技術資料

    文檔序號:15692826

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    本發明提供了一種承載裝置及離子注入設備,所述承載裝置包括:用于承托基板的承托臺;以及,用于支撐基板的多個支撐部件,各支撐部件以可移動地方式設置在所述承托臺上,以使各支撐部件在基板上的支撐位置可調節。本發明提供的承載裝置及離子注入設備,能夠減...
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