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本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)傳感器的制造方法。一種MEMS傳感器的制造方法包括：形成第一基板，其中，第一基板包括設(shè)置在其一個(gè)表面處的下部電極；形成第二基板，其中，第二基板包括設(shè)置在其一個(gè)表面處的第一凹凸部分；第一粘結(jié)步驟，將第一基板的一個(gè)表面與第二...該專利屬于現(xiàn)代自動車株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過現(xiàn)代自動車株式會社授權(quán)不得商用。