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本發明涉及一種微機電器件的拆卸方法，特指一種利用激光沖擊產生的等離子體的膨脹及沖擊波的力學效應來實現已配合微機電器件間的分離，適用于微機電器件的拆卸和分離。本發明利用激光沖擊波的力學效應，通過沖擊波產生的非接觸力實現對微機電系統內部的微機電...該專利屬于重慶市涪陵區德翔機電設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過重慶市涪陵區德翔機電設備有限公司授權不得商用。
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