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本發明公開了一種針對3D光學玻璃、藍寶石半導體的高精清洗工藝，包括步驟：真空超聲波皂化清洗、真空碳氫切水、真空超聲波碳氫清洗、蒸汽浴洗與真空干燥、等離子清洗，其中，碳氫清洗劑均為C...
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