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    下載一種LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法的技術資料

    文檔序號:15671209

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    本發明涉及一種LBO晶體表面鍍膜前的清洗方法,將LBO晶體依次執行下述步驟:采用無水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶體表面;采用弱堿性溶液對LBO晶體進行超聲波清洗,所述弱堿性溶液包括NH...
    該專利屬于同濟大學所有,僅供學習研究參考,未經過同濟大學授權不得商用。

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