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本發明公開了一種收發性能平衡的微機電超聲換能器面陣探頭，包括硅襯底（1），所述硅襯底（1）的上表面為氧化層（2），所述氧化層（2）的上表面開設有若干空腔（3），所述氧化層（2）的上表面鍵合振動薄膜（4），所述振動薄膜（4）的上表面設隔離層（...
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