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本發明公開了種用于CVD固態源的揮發裝置，包括上蓋組件與及不銹鋼釜體(1)構成的密閉反應釜；所述的上蓋組件包括上蓋法蘭(1)，上蓋法蘭(2)上設有與反應釜內連通的進氣管(3)與出氣管(4)；進氣管(3)伸入反應釜內部；所述的上蓋法蘭(2)上...
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