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一種使用雙頻激光和衍射光柵的三維位移測量裝置涉及一種超精密位移測量技術及光柵位移測量系統，由標尺光柵和讀數頭兩部分組成，讀數頭包括雙頻激光光源、Z向干涉部件、掃描分光光柵部件、X向探測部件、Y向探測部件、Z向探測部件、信號處理部件；該裝置基...
該專利屬于哈爾濱工業大學所有，僅供學習研究參考，未經過哈爾濱工業大學授權不得商用。

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