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本發明公開一種降低光刻投影物鏡環境熱效應影響的方法，包括：步驟一、根據環境溫度變化，計算該投影物鏡的熱折變焦面漂移與熱變形焦面漂移以及總焦面漂移靈敏度三者值的大小和符號關系；步驟二、計算該投影物鏡的單個鏡片在環境溫度變化下的熱折變焦面靈敏度...
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