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本發(fā)明提供一種光波導探測器與光模塊，包括：沿第一方向堆疊的波導層、上包層和電極層；波導層包括硅波導層和鍺波導層，鍺波導層位于硅波導層和上包層之間；硅波導層包括沿第二方向排列的P型硅高摻雜區(qū)、P型硅輕摻雜區(qū)、N型硅輕摻雜區(qū)和N型硅高摻雜區(qū)，第...該專利屬于華為技術(shù)有限公司;北京大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過華為技術(shù)有限公司;北京大學授權(quán)不得商用。