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一種基板表面清潔裝置，包括光電傳感器、光電傳感器放大器、電磁閥、噴氣裝置、傳輸滾輪和傳輸軌道，所述噴氣裝置，包括氣管、噴氣口和壓縮干燥空氣產(chǎn)生裝置，所述傳輸軌道上安裝有光電傳感器、傳動滾輪和噴氣口，所述光電傳感器通過信號線與光電傳感器放大器...該專利屬于海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司授權(quán)不得商用。