溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供了一種硅片安全運(yùn)輸方法，對(duì)機(jī)械手片叉進(jìn)行了位姿識(shí)別，通過在片叉上設(shè)置不在同一直線上的三個(gè)或以上的傳感器，在基座上設(shè)定基準(zhǔn)面，在基準(zhǔn)面上設(shè)定探測(cè)點(diǎn)，片叉下表面的傳感器探測(cè)到每個(gè)傳感器與探測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值，再利用這些坐標(biāo)值建立片叉下表面的...該專利屬于北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司授權(quán)不得商用。