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本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N膜厚的檢測(cè)裝置。該檢測(cè)裝置包括公共單元與檢測(cè)單元,公共單元包括至少一個(gè)公共電極,檢測(cè)單元包括至少兩行沿待測(cè)膜移動(dòng)方向間隔設(shè)置的傳感器芯片與信號(hào)處理單元,各傳感器芯片與公共單元在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置,各行的多個(gè)傳感器芯片沿...該專利屬于威海華菱光電股份有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)威海華菱光電股份有限公司授權(quán)不得商用。