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本發明公開了一種深溝槽填充方法，在深溝槽內，先用外延填充，外延填充至溝槽側壁的外延在底部合攏之后，再利用非導電介質對溝槽內剩余空隙進行填充至填充滿溝槽。本發明所述的深溝槽填充方法，外延填充在外延底部合攏后頂部合攏前停止，保持底部和頂部的外延...
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