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    下載感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的制造方法及半導體器件的技術資料

    文檔序號:14024672

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    本發明提供一種能夠在低溫下進行含雜環聚合物前體的環化反應且能夠形成分辨性優異的圖案的感光性樹脂組合物、使用這種感光性樹脂組合物的固化膜、固化膜的制造方法及半導體器件。本發明的感光性樹脂組合物含有:具有通式(A)所表示的陽離子部及具備自由基引...
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