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本發(fā)明公開了一種通過在硅種顆粒上沉積多晶硅來制備粒狀多晶硅的反應(yīng)器，其包括反應(yīng)容器，包括粒狀多晶硅及位于反應(yīng)容器內(nèi)的反應(yīng)器底部的流化床的內(nèi)反應(yīng)管，用于加熱內(nèi)反應(yīng)管中的流化床的加熱裝置，至少一個用于導(dǎo)入流化氣體的底部氣體噴嘴，以及至少一個用于...該專利屬于瓦克化學(xué)股份公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過瓦克化學(xué)股份公司授權(quán)不得商用。