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本實用新型公開了基于有機彈性體柵絕緣層的薄膜晶體管壓力傳感器。該壓力傳感器結構為頂柵錯列型結構，主要包括：受壓后發(fā)生形變，壓力撤除后迅速恢復原狀的有機彈性體作為柵絕緣層；電學性能優(yōu)良的無機半導體材料作為有源層。薄膜晶體管柵極所受的壓力使有機...該專利屬于華南理工大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過華南理工大學授權不得商用。
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本實用新型公開了基于有機彈性體柵絕緣層的薄膜晶體管壓力傳感器。該壓力傳感器結構為頂柵錯列型結構，主要包括：受壓后發(fā)生形變，壓力撤除后迅速恢復原狀的有機彈性體作為柵絕緣層；電學性能優(yōu)良的無機半導體材料作為有源層。薄膜晶體管柵極所受的壓力使有機...