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    下載一種液相生長碳化硅籽晶軸裝置的技術資料

    文檔序號:13781904

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    本發明公開了一種液相生長碳化硅籽晶軸裝置,屬于新材料制造領域。其包括順次可拆卸連接的運動連接部、阻熱部和石墨臺,所述石墨臺的另一端連接有籽晶,所述的阻熱部為熱導率小于石墨熱導率且不與硅蒸汽發生反應的阻熱材料,所述的籽晶可以為方形、圓形或多邊...
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