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下載光學對位補償裝置、貼合度檢測裝置、蒸鍍系統及其方法的技術資料

文檔序號：13367047

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本發明公開了一種光學對位補償裝置、貼合度檢測裝置、蒸鍍系統及其方法，所述光學對位補償數據獲取裝置包括影像采集機構，用于采集所述基板與所述金屬掩膜交迭后，金屬掩膜的開口以及與其對應的基板的像素開口的圖像；處理機構，用于根據采集的所述金屬掩膜的...
該專利屬于上海和輝光電有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海和輝光電有限公司授權不得商用。

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