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本實用新型公開了一種類金剛石薄膜離子源中離子的引出裝置，包括安裝于保護外殼左端的隔板，隔板中部橫向安裝有工藝氣體進氣管，隔板左端面安裝有內部擋板，內部擋板外周的隔板上固定有安裝法蘭，安裝法蘭上安裝有離子源擋圈，內部擋板外側間隔安裝有工藝氣體...
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