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本發明提供了一種抽真空工藝設備，包括：氣冷器、分別與所述氣冷器串聯的蒸汽泵系統和機械泵真空系統，所述蒸汽泵系統和機械泵真空系統串聯，其中，所述蒸汽泵系統包括依次連接的第一級冷凝器、第四級泵和第二級冷凝器，所述機械泵真空系統包括一級螺桿機械泵...
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