溫馨提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明涉及一種多晶硅薄膜的檢測裝置及檢測方法，該檢測裝置包括：供發(fā)射光束的一發(fā)射單元、供接收反射光束的一接收單元、一控制單元、以及一影像偵測單元，所述控制單元分別連接控制所述發(fā)射單元、所述接收單元和所述影像偵測單元，所述控制單元接收所述發(fā)射...該專利屬于上海和輝光電有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海和輝光電有限公司授權(quán)不得商用。