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    下載采用GaN納米圖形襯底同質外延制備GaN薄膜及方法的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：13156987
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      一種采用GaN納米圖形襯底同質外延制備GaN薄膜及方法，其中采用GaN納米圖形襯底同質外延制備GaN薄膜，包括：一襯底材料層；一緩沖層，該緩沖層制作在襯底材料層上；一GaN薄膜層，其制作在緩沖層上；一納米尺寸同質外延層，其制作在GaN薄膜層...
    該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
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