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一種材料處理系統(tǒng)包括熱處理腔室和寬帶微波電源。所述電源包括恒溫箱型小信號RF電路、高功率微波放大器、以及彼此由隔離器來分開的正向和反射功率檢波器。所述功率檢波器也優(yōu)選地是恒溫箱型(ovenized)。控制系統(tǒng)提供控制信號給小信號電路中的熱穩(wěn)...該專利屬于應(yīng)用材料公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過應(yīng)用材料公司授權(quán)不得商用。