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一種制造微型超聲換能器的方法包括接收晶片，在所述晶片上形成多個微型超聲換能器。微型超聲換能器的每個包括：換能器膜，其含有壓電材料；以及第一接合盤和第二接合盤，每個被電耦合到換能器膜。從晶片的前側在多個微型超聲換能器上共形地沉積保護層。執行第...
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