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    下載一種高靈敏度微振動檢測方法的技術資料

    文檔序號:11708001

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    本發明公開了一種基于高深寬比納米陣列探測微振動的方法,屬于微振檢測領域。該方法是:激光器經過光束整形后,從側面入射到高深寬比納米陣列,在另一側形成明暗相間的衍射條紋;當高深寬比柱陣列感受到外界振動時,會發生同步搖晃振動,導致衍射條紋隨之發生...
    該專利屬于西北工業大學所有,僅供學習研究參考,未經過西北工業大學授權不得商用。

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