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    下載指紋鎖芯片的制造工藝的技術資料

    文檔序號:11542002

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    本發明公開一種指紋鎖芯片的制造工藝,在指紋鎖芯片的盲孔內鋁焊墊表面填充鎳金屬層,形成焊盤增厚部;指紋鎖芯片下表面、第一錐形盲孔、第二錐形盲孔表面具有絕緣層,第二錐形盲孔底部開設有若干個第三錐形盲孔,錐形盲孔上方依次具有鈦金屬導電圖形層、銅金...
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