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本發(fā)明能防止在進(jìn)行了氣氛調(diào)整的處理室內(nèi)使用的、利用氣體懸浮的移動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)引起的微粒粉塵的卷起。在進(jìn)行了調(diào)整的氣氛下對(duì)被處理體(半導(dǎo)體基板(100))進(jìn)行處理的處理室(2)內(nèi)所設(shè)置的移動(dòng)平臺(tái)(3)中，具有設(shè)置有被處理體的平臺(tái)主體(30)、以...該專(zhuān)利屬于株式會(huì)社日本制鋼所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)株式會(huì)社日本制鋼所授權(quán)不得商用。