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    下載一種新型GaN基增強型HEMT器件及其制備方法的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：11115087
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明公開了一種GaN基增強型HEMT器件，該HEMT器件包括：GaN本征層和勢壘層依次生長在襯底上；高空穴濃度結構層覆蓋在勢壘層上表面部分區域；第一和第二金屬電極位于勢壘層上表面未被高空穴濃度結構層覆蓋的部分區域；第三金屬電極覆蓋于高空穴...
    該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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