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本發明公開了一種晶圓缺陷監控方法，通過根據對工藝設備檢測工藝性能測試項目的結果，及時提高對出現問題的工藝設備生產出來的晶圓的抽查率，從而自動調整晶圓缺陷的監控規則、方法，進行有針對性的在線缺陷監控，提高檢測到缺陷晶圓的概率，并提高生產的運行...
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