溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明提供一種抗蝕劑用聚合物以及含有該聚合物的抗蝕劑組合物，其為含有羥基的金剛烷基(甲基)丙烯酸酯的均聚物，上述均聚物中羥基部分或全部被縮醛基取代，利用光刻技術形成圖案時，特別是，通過NPD方式形成圖案時，可以防止厚度損失，同時防止厚度損失...
該專利屬于錦湖石油化學株式會社所有，僅供學習研究參考，未經過錦湖石油化學株式會社授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。