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    下載基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感器的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):10360215

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    本發(fā)明涉及一種基于聲表面波的具有溫度補(bǔ)償?shù)母袦y(cè)振動(dòng)傳感器,包括密封連接的殼體和殼蓋,還包括基座、壓電組件和諧振頻率各不相同的三個(gè)聲表面波諧振器,基座固定在殼體內(nèi)的底部;壓電組件是由壓電薄膜和壓電基片構(gòu)成,壓電薄膜設(shè)在壓電基片的上表面,壓電基...
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