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    下載一種激光微加工過程的反射式監測裝置的技術資料

    文檔序號:10331402

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    本實用新型公開了一種激光微加工過程的反射式監測裝置,包括氦氖激光器,所述氦氖激光器前端發射出的探測激光束發射線路上設置有工件,工件的探測激光束反射線路上設置有第一光電探頭,氦氖激光器前端探測激光束發射線路中部設置有激光分束片,所述激光分束片...
    該專利屬于溫州大學所有,僅供學習研究參考,未經過溫州大學授權不得商用。

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