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淀積系統(tǒng)，包括反應(yīng)室(102)、用于加熱反應(yīng)室中的物質(zhì)的至少一個(gè)熱輻射發(fā)射器(104)以及用于在反應(yīng)室(102)內(nèi)原位探測(cè)和/或測(cè)量工件襯底的特性的至少一個(gè)測(cè)量裝置(106)。一個(gè)或多個(gè)室壁對(duì)于熱輻射以及測(cè)量裝置所接收的輻射信號(hào)可以是透明的...該專(zhuān)利屬于SOITEC公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)SOITEC公司授權(quán)不得商用。