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    下載一種單片集成全對稱三軸硅微音叉陀螺儀的技術資料

    文檔序號:10185816

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    本發明公開了一種單片集成全對稱三軸硅微音叉陀螺儀,其結構形式為四方全對稱結構,主要包括驅動模塊、驅動檢測模塊、航向角檢測模塊、俯仰角檢測模塊、橫滾角檢測模塊以及相應的耦合折疊梁、工字型梁、T型梁、U型梁等組成部分。所設計四方全對稱三軸硅微陀...
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