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一種求解SiO2/p+Si/Si三層MEMS懸臂梁結構的彈性變形的方法，包括以下步驟：（1）利用MEMS工藝制作的Si3N4/p+Si/Si三層懸臂梁結構，其各層楊氏模量和厚度是已知，設楊氏模量比γ1=E1/E2,γ2=E3/E2，厚度比r...
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