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高空間分辨率子孔徑拼接方法，涉及超高空間分辨率子孔徑拼接方法，解決現有技術存在的問題，將干涉儀與高精度六維運動臺固定，利用補償鏡頭將干涉儀發出的平面波變為待測表面對應的波形；驅動Stewart平臺帶動小孔徑角的鏡頭圍繞待測表面的零像差點進行...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。
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高空間分辨率子孔徑拼接方法，涉及超高空間分辨率子孔徑拼接方法，解決現有技術存在的問題，將干涉儀與高精度六維運動臺固定，利用補償鏡頭將干涉儀發出的平面波變為待測表面對應的波形；驅動Stewart平臺帶動小孔徑角的鏡頭圍繞待測表面的零像差點進行...