在銅互連硫酸銅鍍液中添加Fe2+和Fe3+的電鍍方法技術

本發明專利技術涉及一種在銅互連硫酸銅鍍液中添加Fe2+和Fe3+的電鍍方法，包括以下步驟：將帶有TSV通孔的硅片放在前處理液中進行超聲波前處理；將所述硅片浸入到含Cu2+、Cl-和硫酸的酸性硫酸銅電鍍液中；將添加劑PEG、SPS、JGB和Fe2+/Fe3+氧化還原對進行預混合，靜置，獲得預混合的添加劑溶液，將所述預混合的添加劑溶液注入所述酸性硫酸銅電鍍液中，經過攪拌混合后，在恒定工作電流下進行電鍍，同時在電鍍過程中使電鍍液通過裝有高純銅顆粒的電解槽。本發明專利技術在鍍液中增加了Fe2+/Fe3+氧化還原對與PEG和SPS進行組合，從而加快通孔內部銅的沉積速率并能夠有效抑制表面銅的沉積，進而實現無缺陷填充并降低表面鍍銅的厚度，方便后續處理過程。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種在銅互連硫酸銅鍍液中添加Fe2+和Fe3+的電鍍方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟（1）將帶有TSV通孔的硅片放在前處理液中進行超聲波前處理；步驟（2）將所述經過前處理的硅片浸入到含Cu2+、Cl?和硫酸的酸性硫酸銅電鍍液中，所述酸性硫酸銅電鍍液的pH值為0～4；步驟（3）將添加劑PEG、SPS、JGB和Fe2+/Fe3+氧化還原對進行預混合，靜置，獲得預混合的添加劑溶液，將所述預混合的添加劑溶液注入所述酸性硫酸銅電鍍液中，經過攪拌混合后，在恒定工作電流下進行電鍍，同時在電鍍過程中使電鍍液通過裝有高純銅顆粒的電解槽。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：凌惠琴，張子名，李明，杭弢，
申請(專利權)人：上海交通大學，
類型：發明
國別省市：上海;31