一種基于數字微流技術的電化學集成傳感芯片制造技術

本發明專利技術屬于微分析芯片技術領域，具體涉及一種基于數字微流技術的電化學集成傳感芯片。本發明專利技術芯片以基于介質上電潤濕的數字微流技術為基礎，包括兩大部分：一是雙層極板的數字微流模塊，進行微尺度液滴樣本的產生、輸運、混合、分裂等自動化操控；二是單層極板的集成電化學檢測模塊，該部分中，微細電化學體系集成在下極板數字微流芯片上，以完成液滴樣本的輸運及實時電化學檢測；液滴樣本可以在芯片兩大部分自由傳輸以實現不同功能。本發明專利技術是單極板和雙極板的數字微流芯片的有機結合，結構新穎，可實現微量、快速、靈敏檢測，大大地拓寬了電化學傳感及數字微流控技術的應用范圍。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種基于數字微流技術的電化學集成傳感芯片，其特征在于由上極板和下極板組成；其中：所述下極板的結構從下到上依次為：第一絕緣襯底，第一電極層，介質層，第一疏水層；第一電極層又分為兩部分：一部分為雙極板介質電潤濕數字微流芯片的驅動電極，另一部分為單極板介質電潤濕數字微流芯片的驅動電極和接地電極，以及集成嵌入在驅動電極中的微細電化學電極；所述上極板的結構上到下依次為：第二絕緣襯底，第二電極層，第二疏水層，其中，第二電極層僅作為雙極板數字微流芯片的接地電極；在單極板上的驅動電極尺寸小于雙極板上的驅動電極尺寸，以使在單極板上的液滴傳輸到雙極板內時能夠被順利驅動；微細電化學電極尺寸也小于單極板的驅動電極尺寸；在器件結構布置上，上極板只覆蓋下極板上雙極板微流芯片驅動電極，并不覆蓋單極板微流芯片的驅動電極和集成電化學電極。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：余玉華，陳建鋒，周嘉，
申請(專利權)人：復旦大學，
類型：發明
國別省市：