鋁合金/鉻硅夾心肖特基二極管制造技術(shù)

一種鋁合金/鉻硅夾心肖特基二極管，該二極管描述的是一種減少了載流子的注入和減少金屬擴散到半導(dǎo)體中的二極管。在肖特基二極管中這些改進是通過在正極的金屬層和半導(dǎo)體之間插入由硅鉻混合組成的一個層實現(xiàn)的。該層包括一個可以充當防止金屬層擴散到半導(dǎo)體的屏障的鉻，并且該層同時減少了大量的少數(shù)載流子注入到襯底。該層的鉻不需要添加光刻掩膜，因為它可以在該層被模式化后使用金屬層等離子刻蝕作為掩膜。（*該技術(shù)在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種鋁合金/鉻硅夾心肖特基二極管，其特征是：該二極管在金屬層和半導(dǎo)體之間的接口上有一個整流結(jié)，其中該改進的二極管包括形成于預(yù)混層的一個層，該層至少由三種元素組成，包括插在金屬層和半導(dǎo)體之間的鉻、硅和碳，形成了整流結(jié)。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：包興坤，
申請(專利權(quán))人：蘇州硅智源微電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：