部件內置基板的檢查方法技術

本發明專利技術提供一種部件內置基板的檢查方法，其可有效地消除檢查夾具內的布線之間的寄生電容等的影響、以及部件內置基板內的布線之間的靜電電容的影響，并可對部件內置基板內的檢查對象部進行準確的檢查。例如在將電容器（C1）設為關注檢查對象部的情況下，與被設為第一選擇檢查點的檢查點（D1、D2）以及被設為第一電位調整檢查點的檢查點（D5～D7）接觸的探針（P1、P2、P5～P7）與電源部的第一輸出端子電連接。另外，與被設為第二選擇檢查點（D4）接觸的探針（P4）與電源部（4）的第二輸出端子電連接。另外，與被設為非關聯檢查點（D3、D8～D10）接觸的探針（P3、P8～P10）與接地電位電連接。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種針對由設置在部件內置基板內的電子部件或包含電子部件的電路構成的多個檢查對象部，經由與設置在部件內置基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢查所述檢查對象部的電特性的，其中所述部件內置基板內置具有阻抗的電子部件。
技術介紹
目前，內置有電容器和電阻器等電子部件的部件內置基板(也稱作嵌入式基板)開始普及，亟需確定針對內置在部件內置基板內的電子部件的檢查方法。由于部件內置基板自身是新產品，因此，關于這種檢查方法的現狀是，不存在可稱為現有技術的已有技術。因此，在此記載本專利技術被提出之前由本申請的專利技術人等提出的檢查方法和所存在的問題。針對在先提出的檢查方法，以針對在圖1中示意地表示的部件內置基板I進行檢查的情況為例來說明。該部件內置基板I是通過將多層(在此為三層)基板Ia Ic層疊而構成的，并且在其內部內置有具有阻抗的多個電子部件(在此為三個電容器Cl C3和兩個電阻器R1、R2)。另外，在部件內置基板I的上側和下側表面上設置有10個檢查點Dl DlO ;在進行檢查時，檢查裝置的探針Pl PlO—起地與各個檢查點Dl DlO接觸。在此，在統稱檢查點Dl DlO和探針Pl PlO的情況下，分別使用符號“D”、“P”。另外，在統稱作為內置的電子部件的電容器Cl C3和電阻器R1、R2的情況下，稱為電子部件。另外，在此，針對將電容器Cl C3和電阻器Rl、R2逐一地且獨立地設為檢查對象部的情況進行說明。圖2是示意地表示 設置在部件內置基板I上的電子部件、布線圖案和檢查點的電連接關系的布線圖。如圖2所示，在部件內置基板I內存在三個獨立的網絡NI N3。電容器Cl、C2、電阻器Rl和檢查點Dl、D2、D4 D7屬于網絡NI，電阻器R2和檢查點D8、D9屬于網絡N2，檢查點D3、D10屬于網絡N3。針對這樣的被內置在部件內置基板I內的電子部件(電容器Cl C3、電阻器Rl、R2),在先前提出的檢查方法中，例如按照電容器Cl、電容器C2、電容器C3、電阻器R1、電阻器R2的順序進行檢查。在針對電容器Cl的檢查步驟中，經由檢查點Dl、D4和分別與它們接觸的探針P1、P4而向電容器Cl供給檢查電力(例如，交流電流、直流變動電流、交流電壓或直流變動電壓)，經由檢查點Dl、D4和分別與它們接觸的探針P1、P4來檢測電容器Cl的電特性，并根據檢測結果進行電容器Cl是否良好的判斷等。作為電容器Cl的電特性的檢測，例如檢測檢查點D1、D4之間的電位差和在檢查點D1、D4之間流動的電流，并根據這些檢測值來檢測電容器Cl的阻抗。在對該電容器Cl的檢查期間，與檢查點Dl、D4之外的檢查點D (即檢查點D2、D3、D5 D10)接觸的探針P (即探針P2、P3、P5 P10)處于電斷開狀態。接下來，在電容器C2的檢查中，經由檢查點D1、D5和分別與它們接觸的探針P1、P5而向電容器C2供給檢查電力，經由檢查點Dl、D5和分別與它們接觸的探針P1、P5來檢測電容器C2的電特性(例如阻抗)，并根據檢測結果進行電容器C2是否良好的判斷。此時，與檢查點Dl、D5之外的檢查點D接觸的探針P處于電斷開狀態。以下相同地，在電容器C3的檢查中，經由檢查點Dl、D7和分別與它們接觸的探針P1、P7進行針對電容器C3的檢查電力的供給和電特性的檢測。此時，與檢查點D1、D7之外的檢查點D接觸的探針P處于電斷開狀態。另外，在電阻器Rl的檢查中，經由檢查點D2、D6和分別與它們接觸的探針P2、P6進行針對電阻器Rl的檢查電力的供給和電特性的檢測。此時，與檢查點D2、D6之外的檢查點D接觸的探針P處于電斷開狀態。另外在電阻器R2的檢查中，經由檢查點D8、D9和分別與它們接觸的探針P8、P9進行針對電阻器R2的檢查電力的供給和電特性的檢測。此時，與檢查點D8、D9之外的檢查點D接觸的探針P處于電斷開狀態。然而，已知在這樣的先前提出的檢查方法中，存在下述兩個問題。(a)在檢查時，探針P —起地與部件內置基板I的所有檢查點D接觸，檢查夾具內的布線經由探針P和檢查點D而與部件內置基板I內的電路相連接。然而，在所述先前提出的檢查方法中，未考慮在使探針P與部件內置基板I的檢查點D接觸時產生的、對部件內置基板I內的電路的影響(例如，檢查夾具內的布線之間的寄生電容等的影響)，在檢測內置在部件內置基板I內的電子部件的電特性時，存在不能消除檢查夾具內的布線之間的寄生電容等的影響的問題。(b)也未考慮在部件內置基板I內的布線之間產生的靜電電容的影響，在檢測內置在部件內置基板I內的電子部件的電特性時，存在不能消除部件內置基板I內的布線之間的靜電電容等的影響的問題。另外，作為與相關的現有技術文獻，例如有專利文獻I。 日本特開2007-309814號公報
技術實現思路
因此，本專利技術要解決的問題為，提供一種，其可有效地消除經由探針而與部件內置基板的檢查點連接的檢查夾具內的布線之間的寄生電容等的影響、以及部件內置基板內的布線之間的靜電電容的影響，并準確地對由部件內置基板內的電子部件或包含電子部件的電路所構成的檢查對象部進行檢查。為了解決所述問題，本專利技術的第一方面為一種，針對由設置在部件內置基板內的電子部件或包含所述電子部件的電路構成的多個檢查對象部，經由與設置在所述部件內置基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢測所述檢查對象部的電特性，所述部件內置基板內置具有阻抗的電子部件，所述具備以下步驟:從所述部件內置基板內的所述多個檢查對象部中按順序選擇任一個檢查對象部作為關注檢查對象部的步驟；將所述多個檢查點中的與所述關注檢查對象部屬于同一網絡的檢查點設為關聯檢查點，將除此之外的檢查點設為非關聯檢查點的步驟；將所述關聯檢查點中的、不經由所述電子部件而與插入有所述關注檢查對象部的布線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由所述電子部件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二選擇檢查點，將剩余檢查點中的、經由所述關注檢查對象部之外的所述電子部件而與所述第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第一電位調整檢查點，將經由所述關注檢查對象部之外的所述電子部件而與所述第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第二電位調整檢查點，使與所述關聯檢查點中的所述第一選擇檢查點以及所述第一電位調整檢查點接觸的所述探針與輸出檢查電力的電源部的、成對的第一和第二輸出端子中的第一輸出端子電連接，使與所述第二選擇檢查點以及所述第二電位調整檢查點接觸的所述探針與所述電源部的所述第二輸出端子電連接，并使與所述非關聯檢查點接觸的所述探針與規定的基準電位電連接的步驟；經由與所述第一選擇檢查點以及所述第二選擇檢查點接觸的所述探針，使所述電源部對所述關注檢查對象部供給所述檢查電力，并由規定的電特性檢測部檢測所述關注檢測對象部的電特性的步驟；以及根據所述電特性檢測部的檢測結果，判斷所述關注檢查對象部是否良好的步驟。另外，在本專利技術的第二方面，在所述第一局面涉及的中，在從所述部件內置基板內的所述多個檢查對象部中選擇所述關注檢查對象部的所述步驟中，在對該時刻所選擇的關注檢查對象部的檢查結束并要選擇下一個關注檢查對象部時，優先選擇與檢查結束了的關注檢查對象部屬于同一網絡的檢查對象部作為關注檢查對象部。根據本專利技術第一方面涉及的，在針對從本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種部件內置基板的檢查方法，針對由設置在部件內置基板內的電子部件或包含所述電子部件的電路構成的多個檢查對象部，經由與設置在所述部件內置基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢測所述檢查對象部的電特性，所述部件內置基板內置具有阻抗的電子部件，所述部件內置基板的檢查方法的特征在于，具備以下步驟：從所述部件內置基板內的所述多個檢查對象部中按順序選擇任一個檢查對象部作為關注檢查對象部的步驟；將所述多個檢查點中的與所述關注檢查對象部屬于同一網絡的檢查點設為關聯檢查點、將此外的檢查點設為非關聯檢查點的步驟；將所述關聯檢查點中的、不經由所述電子部件而與插入有所述關注檢查對象部的布線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由所述電子部件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二選擇檢查點，將剩余檢查點中的、經由所述關注檢查對象部之外的所述電子部件而與所述第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第一電位調整檢查點，將經由所述關注檢查對象部之外的所述電子部件而與所述第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第二電位調整檢查點，使與所述關聯檢查點中的所述第一選擇檢查點以及所述第一電位調整檢查點接觸的所述探針與輸出檢查電力的電源部的、成對的第一和第二輸出端子中的第一輸出端子電連接，使與所述第二選擇檢查點以及所述第二電位調整檢查點接觸的所述探針與所述電源部的所述第二輸出端子電連接，并使與所述非關聯檢查點接觸的探針與規定的基準電位電連接的步驟；經由與所述第一選擇檢查點以及所述第二選擇檢查點接觸的所述探針，使所述電源部對所述關注檢查對象部供給所述檢查電力，并由規定的電特性檢測部檢測所述關注檢測對象部的電特性的步驟；以及根據所述電特性檢測部的檢測結果，判斷所述關注檢查對象部是否良好的步驟。...

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：山下宗寛，后藤彰，栗原靖人，
申請(專利權)人：日本電產理德株式會社，
類型：發明
國別省市：