水晶振動片及水晶元件制造技術

本發明專利技術提供一種連結部與AT切割水晶振動片正交、且與X軸具有61°或119°的旋轉角的水晶振動片。AT切割水晶振動片(30)包括：框體(32)，在激振部(31)的周圍隔開規定的空隙而形成；連結部(35)，連結激振部和框體；一對激振電極(34)，配置在激振部的兩主面上；以及一對引出電極(33)，從激振電極經由連結部而延伸到框體。激振部的長邊相對于結晶軸X旋轉61°或119°而形成，框體的長邊相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，連結部相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，且與激振部的短邊及框體的短邊正交。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種激發厚度滑移振動(thickness shear vibration)的水晶振動片、及包含該水晶振動片的水晶元件(quartz crystal device)。
技術介紹
人類使用有AT切割水晶振動片的水晶元件中，既存在對水晶元件的基底基板直接施加應力的水晶元件，也存在即便在熱膨脹等時仍對水晶振動片施加應力的水晶元件。對這些水晶振動片賦予的應力會對振蕩頻率帶來影響，從而對老化(aging)特性或頻率溫度特性等諸特性帶來不良影響。因此，為了消除對振蕩頻率帶來影響的應力的傳遞，而提出了專利文獻I的專利技術。專利文獻I公開的安裝在水晶元件上的水晶振動片中，是在相對于特定的結晶軸具有規定的旋轉角的直線上配置著2個支撐電極。具體來說，專利文獻I的AT切割水晶振動片中，在與作為其結晶軸的X軸具有60°或120°的旋轉角的直線上，形成有至少一對連結框體和振動片的連結部。而且，AT切割水晶振動片的連結部上分別配置著一對引出電極。沿著具有該旋轉角的直線而附加的應力的靈敏度比率變得極小，從而AT切割水晶振動片的振蕩頻率所受到的應力影響變得極小。
技術介紹
文獻專利文獻專利文獻1:日本專利特開2007-243681號公報然而,如果以濕式蝕刻(wet etching)形成專利文獻I中所描述的AT切割水晶振動片，那么，由于只有連結部相對于框體或AT切割水晶振動片傾斜，所以，連結部和框體的銳角區域、或連結部和AT切割水晶振動片的銳角區域，實際上無法準確地加工。
技術實現思路
因此，本專利技術提供如下水晶振動片:連結部與框體或AT切割水晶振動片正交，并且，連結部與作為AT切割水晶振動片的結晶軸的X軸具有61°或119°的旋轉角。第I形態的水晶振動片是包含矩形狀的激振部的AT切割水晶振動片，所述激振部具有結晶軸X、結晶軸Γ及結晶軸Z'。而且，水晶振動片包括:框體，在激振部的周圍隔開規定的空隙而形成；連結部，連結激振部和框體；一對激振電極，配置在激振部的兩主面上；以及一對引出電極，從激振電極經由連結部而延伸到框體。激振部的長邊是相對于結晶軸X旋轉61°或119°而形成，框體的長邊相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，連結部相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，且與激振部的短邊及框體的短邊正交。第2形態的水晶振動片的連結部只有一根，且一對引出電極是:以從主面的法線方向觀察時，不與一根連結部重合的方式而形成。在第3形態的水晶振動片中，連結一根連結部和激振電極的中央的直線是:相對于結晶軸X而為61°或119°方向。在第4形態的水晶振動片中，框體及連結部的Γ軸方向的厚度比激振部的V軸方向的厚度還厚。在第5形態的水晶振動片中，在激振部的一部分形成階差面，且階差面是:由所述激振部的厚度變為連結部的厚度。第6形態的水晶元件包含第I形態至第5形態中任一形態的水晶振動片。而且，水晶元件包括:矩形狀的基底部，由玻璃材料形成，且接合于框體的主面的一方；及矩形狀的蓋部，由玻璃材料形成,且接合于框體的主面的另一方。第7形態的水晶元件包含第I形態至第5形態中任一形態的水晶振動片。而且，水晶元件包括:矩形狀的基底部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框體的主面的一方 '及矩形狀的蓋部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框體的主面的另一方。基底部及蓋部的長邊是相對于結晶軸X旋轉61°或119°而形成。專利技術的效果根據本專利技術的水晶振動片及水晶元件，可避免由對封裝體施加的應力及因熱膨脹等，而導致對激振部賦予的應力所引起的頻率特性的變動。附圖說明圖1是第I水晶元件100的分解立體圖。圖2 (a)是第I水晶元件100的剖視圖。圖2 (b)是水晶振動片30的俯視圖。圖3 (a)是水晶振動片30的剖視圖。圖3 (b)是變形例的水晶振動片30A的剖視圖。圖4(a) (d)是表示水晶振動片30的制造方法的流程圖。圖5(a) (d)是表示水晶振動片30的制造方法的流程圖。圖6是水晶振動片晶片30W的俯視圖。圖7是蓋晶片IOW的俯視圖。圖8是基底晶片20W的俯視圖。圖9是第2水晶元件200的分解立體圖。圖10 (a)是第2水晶元件200的剖視圖。圖10(b)是水晶振動片230的俯視圖。圖11 (a)是變形例的水晶振動片230A的俯視圖。圖11 (b)是變形例的水晶振動片230B的俯視圖。圖12是水晶振動片晶片230W的俯視圖。符號的說明:10、210蓋板17、28、217、228凹部20、220底板23、223連接電極25 安裝端子27(a、b)、37(a、b)、227(a、b)、237(a、b)側面電極16、26(a、b)、36(a、b)、216、236(a、b)城堡形部分30、30A、230、230A、230B 水晶振動片31、231激振部31a,231a第 I 區域31b、231b第 2 區域31c、231c第 3 區域32、232框部33(a、b)、233(a、b)引出電極34(a、b)、234(a、b)激振電極35,235連結部38、238(a、b、c)、BH貫通孔41接合材料81金屬膜82光阻劑 100、2OO水晶元件10W、20W、30W、230W水晶晶片A-A、B-B首Ij線M1、M2、M3、M4、M5接合面OF定向平面SlOl S108步驟SL劃線Tl第I厚度T2第2厚度X、X，、Y，、Y”、Z，、Z”軸具體實施例方式以下，基于附圖對本專利技術的優選的實施方式進行詳細說明。此外，以下說明中只要未特別記載限定本專利技術的意旨，則本專利技術的范圍并不限定于這些實施方式。(第I實施方式)<第I水晶元件100的構成>圖1是第I水晶元件100的分解立體圖。第I水晶元件100包含:蓋板10、底板20、及水晶振動片30。水晶振動片30使用的是AT切割的水晶振動片。AT切割的水晶振動片的主面(YZ面)相對于人工水晶的結晶軸(XYZ)的Y軸，以X軸為中心、而從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。因此，本說明書中以AT切割的水晶振動片的軸向作為基準，將傾斜的新軸設為X軸、Y'軸及Z'軸。進而，在第I實施方式的蓋板10、底板20及水晶振動片30中，這些部件的長邊以V軸為基準、而相對于結晶軸X旋轉了 61°或119° (參照圖6 圖8)。以下，在第I實施方式中，將相對于結晶軸X傾斜61°的方向設為X'。而且，以X'軸作為基準，將正交的軸向設為Y軸及Ζ軸。即，在水晶元件100中，將第I水晶元件100的長邊方向設為V軸方向，將第I水晶元件100的高度方向設為Y軸方向，且將與X'及Y軸方向垂直的方向設為Z軸方向而進行說明。水晶振動片30包含:以規定的振動頻率進行振動的激振部31、包圍激振部31的框部32、及連結激振部31和框部32的連結部35。激振部31和框部32之間的區域成為沿Y軸方向貫通水晶振動片30的貫通孔38。在激振部31的+Y軸側的面和-Y軸側的面上形成有激振電極34a、34b。另外，引出電極33 (a、b)從各激振電極34通過連結部35被引出到框部32。在框部32的四個角落的側面形成有城堡形部分(Castellation) 36 (a、b),且在城堡形部分36 (a、b)處形成有側面電極37 (a、b)。底板20包含AT切割的水晶材料，且配置在水晶振動片30的-Y軸側。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種水晶振動片，是包含矩形狀的激振部的AT切割水晶振動片，所述激振部具有結晶軸X、結晶軸Y′及結晶軸Z′，所述水晶振動片的特征在于，包括：框體，在所述激振部的周圍隔開規定的空隙而形成；連結部，連結所述激振部和所述框體；一對激振電極，配置在所述激振部的兩主面；以及一對引出電極，從所述激振電極經由所述連結部而延伸到所述框體；且所述激振部的長邊相對于所述結晶軸X旋轉61°或119°而形成，所述框體的長邊相對于所述結晶軸X向61°或119°方向延伸，所述連結部相對于所述結晶軸X向61°或119°方向延伸，且與所述激振部的短邊及所述框體的短邊正交。

【技術特征摘要】
2012.01.31 JP 2012-0174151.一種水晶振動片，是包含矩形狀的激振部的AT切割水晶振動片，所述激振部具有結晶軸X、結晶軸V及結晶軸Z'，所述水晶振動片的特征在于，包括: 框體，在所述激振部的周圍隔開規定的空隙而形成； 連結部，連結所述激振部和所述框體； 一對激振電極，配置在所述激振部的兩主面；以及 一對引出電極，從所述激振電極經由所述連結部而延伸到所述框體；且 所述激振部的長邊相對于所述結晶軸X旋轉61°或119°而形成， 所述框體的長邊相對于所述結晶軸X向61°或119°方向延伸， 所述連結部相對于所述結晶軸X向61°或119°方向延伸，且與所述激振部的短邊及所述框體的短邊正交。2.根據權利要求1所述的水晶振動片，其特征在于: 所述連結部只有一根，且 所述一對引出電極是:以從所述主面的法線方向觀察時，不與所述一根連結部重合的方式而形成。3.根據權利要求2所述的水晶振動片，其特征在于: 連結所述一根...

【專利技術屬性】
技術研發人員：水沢周一，
申請(專利權)人：日本電波工業株式會社，
類型：發明
國別省市：